1400℃真空气氛管式电炉气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量,以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。
1、1400℃真空气氛管式电炉炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1500度的优质硅碳棒。
国产程序
SK-G04143
SK-G05145
SK-G06143
SK-G08143
进口程序
SK-G04145
SK-G05145
SK-G06145
SK-G08145
温区
单温区
最高温度
1400℃
加热区长度
200mm
400mm
恒温区长度
70mm
140mm
加热元件
硅碳棒
空炉升温时间
<30min
额定功率
2.5Kw
5Kw
额定电压
220V
温度控制
国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制;
控温精度
±1℃
石英管尺寸(mm)
Φ40/34x1000
Φ50/44x1000
Φ60/50x1000
Φ80/70x1000
炉管材料
刚玉管
炉管最高工作温度
<1300℃
配置炉管时升温速度
500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min;
1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min
外形尺寸(深x宽x高)
315x440x539mm
400x614x653mm
重量
60Kg
85Kg
标准配置
气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵塞两个,钩子一把,高温手套一副
真空/气氛总成配套(可选)
真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统;
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统;
计算机集散控制系统; CVD电炉系统;
2、1400℃真空气氛管式电炉密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、1400℃真空气氛管式电炉两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、1400℃真空气氛管式电炉先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。